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三星表示,位于韓國京畿道華城市的v1工廠已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm 7lpp、6nm 6lpp工藝,這也是世界上第一家專門用于euv極紫外光刻工藝的代替品工廠。

據(jù)介紹,三星7lpp、6lpp工藝以生產(chǎn)先進的移動soc芯片為首要,本賽季陸續(xù)出貨,具體客戶尚未公布,但7lpp似乎將成為對外代理商主力,6lpp為三星

三星表示,與7lpp相比,6lpp可以增加約10%的晶體管密度,降低功耗,但相互兼容,與7lpp工藝設計的ip相比可以直接復用,因此可以大幅降低價值成本。

在路線圖中,三星還計劃了5lpe、4lpe、3gae、3gap等更先進的工藝,均采用了euv極紫外光刻,其中5nm、4nm均被視為7nm工藝的深度升級,為3nm工藝

高通剛發(fā)布的第三代5g基帶驍龍x60是使用三星的5納米工藝制造的,3納米將于今年完成開發(fā),放棄采用多年的finfet晶體管架構(gòu)。

三星v1工廠將于年2月開工建設,2019年下半年開始試產(chǎn),未來將迅速擴大產(chǎn)能,到今年年底,7lpp euv和更新技術(shù)的生產(chǎn)總值將是去年年底的3倍,累計投資也將達到60億美元。

標題:“三星EUV極紫外光刻工廠量產(chǎn):7/6/5/4/3nm都可以用”

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